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Helium test leaks for the calibration of leak detectors<
Author(s) -
Jitschin Wolfgang
Publication year - 2002
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/1522-2454(200204)14:2<97::aid-vipr97>3.0.co;2-r
Subject(s) - leak , helium , leak detection , materials science , physics , thermodynamics , atomic physics
Zur zuverlässigen quantitativen Messung von Leckraten werden die verwendeten Lecksuchgeräte kalibriert, indem man einen bekannten Gasstrom aus einem Testleck in die Geräte einleitet. Hierfür haben sich Helium‐Testlecks bewährt, bei denen das Gas aus einem internen Vorratsbehälter über Diffusion durch ein Leckelement ausströmt. In der vorliegenden Veröffentlichung werden der Aufbau derartiger Testlecks, Temperaturabhängigkeit und Zeitverhalten der Leckrate sowie deren Kalibrierung beschrieben. Bei sorgfältigem Vorgehen kann eine relative Unsicherheit der gelieferten Leckrate von 3 % (2σ) erreicht werden.