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Tribological sub‐micron coatings for microsystems
Author(s) -
Bandorf Ralf,
Lüthje Holger
Publication year - 2002
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/1522-2454(200204)14:2<87::aid-vipr87>3.0.co;2-t
Subject(s) - abrasive , nanoindentation , microelectromechanical systems , tribology , nanotechnology , chemistry , materials science , composite material
Im Rahmen der Miniaturisierung müssen die Mikrokomponenten hinsichtlich Zuverlässigkeit und Lebensdauer makroskopischen Systemen ebenbürtig sein. Eine Lösungsmöglichkeit um diese Zuverlässigkeit zu gewährleisten ist die Optimierung von Reibung und Verschleiß. Die hier vorgestellten Schichten bieten eine Auswahl von mikrotribologischen Schichtsystemen, die basierend auf etablierten Systemen entwickelt und in ihren Dimensionen angepasst wurden. Hierzu wurden Hart‐ und Superhartschichten wie DLC (Diamond Like Carbon, diamantähnlicher Kohlenstoff), CN X , cBN und Al 2 O 3 optimiert und untersucht. Zum besseren Verständnis der tribologischen Prozesse und einer Abschätzung der Effekte, die in Mikrosystemen auftreten, erfolgte die Charakterisierung mit dem makroskopischen Stift‐Scheibe Test (Pin on Disc), sowie auf der Nanometerskala mit rasterkraftmikroskopischen Verfahren und einem speziell entwickelten Verschleißtester.