Qualification of a novel Coating for Corration Protection Applied to Turbomolecular Pumps in Semiconductor Industry

Für den Einsatz von Turbomolekularpumpen (TMP) in Prozessen zur Herstellung von Halbleiterbausteinen wie Mikroprozessoren oder Speicherchips wurde eine spezifische Korrosoionsschutzbeschichtung entwickelt und qualifiziert, die sich inzwischen zehntausendfach in der betrieblichen Praxis bewährt hat. Dabei handelt es sich um eine Beschichtung für Aluminiumwerkstoffe auf Basis der “anodischen Oxidation unter Funkenentladung”, die vor allem gegen reaktive halogenhaltige Gase und Gasgemische schützen soll. Insbesondere der Pumprotor stellt aufgrund seiner hohen dynamischen Beanspruchung und seiner komplexen Geometrie hohe Anforderungen an eine geeignete Beschichtung. In dem Beitrag wird dargestellt, wie die für den Anwendungsbereich im Maschinenbau neuartige Beschichtung zur Serien‐reife gebracht wurde. Der Weg dorthin gliedert sich in die Teilschritte •funktionale Eignungsprüfung, •Schichtcharakterisierung und •Einführung in die Serie. In der Darstellung werden der Ablauf der Qualifizierung und die dabei angewendeten Verfahren beschrieben und beurteilt. Der Vorgehensweise zur Schichtqualifizierung liegt der eher pragmatische Ansatz zugrunde, in erster Linie Funktion und Reproduzierbarkeit sicherzustellen.