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Cubic Boron Nitride Coatings for Innovative Applisations
Author(s) -
Keunecke Martin,
Bewilogua Klaus
Publication year - 2001
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/1522-2454(200108)13:4<237::aid-vipr237>3.0.co;2-w
Subject(s) - boron nitride , materials science , sputtering , coating , nitride , silicon nitride , sputter deposition , layer (electronics) , metallurgy , nanotechnology , thin film
Schichten aus kubischem Bornitrid (cBN), dem nach Diamant zweithärtesten aller bekannten Materialien, wurden mit einem Sputter‐Prozess hergestellt. Ein neuartiger Schichtaufbau, der auf einem speziellen B‐C‐N‐Schichtsystem basiert, ermöglicht die Abscheidung von cBN‐Schichten mit über 2μm Dicke, allerdings bisher nur auf Siliciumsubstraten. Die Eigenschaften der Schichten sind denen von massivem cBN sehr ähnlich. Es wurden vielversprechende Experimente zur Übertragung dieses für Werkzeugbeschichtungen und vielfältige andere Anwendungen interessanten Schichtsystems auf Werkzeugsubstrate durchgeführt. Erste Untersuchungen der mechanisch‐tribologischen Eigenschaften der auf Hartmetall‐ und Stahlsubstraten abgeschiedenen Schichten belegen das außergewöhnlich hohe Potential der cBN‐basierten Schichtsysteme.