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Development of Residual Stress and Mechanical Behavior of c‐BN‐Layers
Author(s) -
Bobeth M.,
Möller J.,
Pompe W.,
Reiche D.,
Trommer O.,
Ullrich A.
Publication year - 2001
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/1522-2454(200106)13:3<161::aid-vipr161>3.0.co;2-i
Subject(s) - boron nitride , adhesion , materials science , composite material , chemistry , physics
Zum besseren Verständnis des Einflusses von Schichtdefekten auf die Haftfestigkeit von kubischen Bornitridschichten wurden sowohl Computersimulationen auf mesoskopischer Ebene als auch experimentelle Analysen bruchmechanischer Vorgänge durchgeführt. Diese führten zu wichtigen neuen Erkenntnissen zur Erzielung einer hohen Haftfestigkeit und fanden nutzbringenden Eingang in die Herstellung der Schichten.