Modifiziertes Bayard‐Alpert‐ Ionisationsmanometer für Druckmessungen von 10 ‐9 ... 10 +1 mbar

Obwohl sich im Allgemeinen die Anforderungen, die an die Betriebsparameter und die Elektrodenkonfiguration von Glühkatoden‐Ionisationsmanometer für hohe und tiefe Drücke gestellt werden, prinzipiell widersprechen, lassen sich dennoch Ionisationsmanometerröhren konstruieren, die in einem sehr großen Druckbereich eingesetzt werden können. Voraussetzung dafür ist jedoch, eine geeignete Röhrengeometrie und deren Betriebsparameter so zu optimieren, dass diese trotzdem mit vertretbaren Einschränkungen den unterschiedlichen Anforderungen genügen. Mit Hilfe von Computersimulationen und experimentellen Untersuchungen wurde eine Messröhre entwickelt, welche die Hauptmerkmale der beiden unterschiedlichen Manometertypen in einer Konstruktion vereint. Die hier vorgestellte und im Vergleich zum klassischen Bayard‐Alpert‐Ionisationsmanometer nur leicht veränderte Messröhrengeometrie ist für Druckmessungen in einem sehr weiten Druckbereich geeignet und ermöglicht zudem die Nutzung des Effektes der Druckabhängigkeit der Ionendriftgeschwindigkeit im elektrischen Feld zur Druckbestimmung bei höheren Vakuumdrücken. Die obere Druckmessgrenze dieser Ionisationsmanometerröhre kann dadurch bis in den Grobvakuumbereich verschoben werden, ohne dass der für Bayard‐Alpert‐Manometersysteme übliche untere Grenzdruck von 10 ‐9 mbar verändert wurde. Der Messbereich dieser Manometerröhre erstreckt sich somit über nahezu zehn Druckdekaden.