Plasma Assisted Coating of Parts at Low Temperature

Zusammenfassung Die Erzeugung von Verschleißschutzschichten im plasmagestützten CVD‐Verfahren unter Verwendung von metallorganischen Spendermedien ist heute bei niedrigen Temperaturen möglich. Eine Beschichtung von temperaturempfindlichen Werkstoffen wie Aluminium, Magnesium und Kunststoff bei niedrigen Temperaturen ist damit realisierbar. Die Verschleißschutzschichten TiCN und ZrCN wurden auf Leichtmetalle bei Temperaturen unter 160°C abgeschieden. Die mechanisch‐technologischen Eigenschaften der Schichten zeigen deutlich das Potenzial auf, dass diese Schichten bei verschleiß‐ und reibungsbeanspruchten Bauteilen eröffnen. Die Oberflächenhärte, der Abrasivverschleiß und die Reibwerte sind deutlich besser, als die entsprechenden Werte der Grundmaterialien, aber auch von Stahl. Transparente BCN‐Schichten können als Kratzschutzschichten für Kunststoffe wie Polycarbonat eingesetzt werden. Die Schichten bieten bei hoher Transmission gute Härtewerte.