Premium
Materials for Vacuum Coating
Author(s) -
Selhofer Hubert
Publication year - 2000
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/1522-2454(200012)12:6<373::aid-vipr373>3.0.co;2-a
Subject(s) - die (integrated circuit) , coating , materials science , mechanical engineering , engineering , physics , composite material
Zusammenfassung Diskussion der wichtigsten Kriterien für die Wahl eines Materials für Vakuumbeschichtung bezüglich der geforderten Schichteigenschaften, Auswahl der Beschichtungsmethode und der dadurch bedingten Materialform. Herstellmethoden der Materialien werden schematisch dargestellt und die Qualitätskontrolle der Endprodukte erläutert.