Premium
Innovative applications of plasma technologies
Author(s) -
Reichel Karin
Publication year - 2000
Publication title -
vakuum in forschung und praxis
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.213
H-Index - 13
eISSN - 1522-2454
pISSN - 0947-076X
DOI - 10.1002/1522-2454(200002)12:1<16::aid-vipr16>3.0.co;2-r
Subject(s) - microelectronics , materials science , engineering , nanotechnology
Plasmatechnische Prozesse sind heute in vielen Anwendungsbereichen zu finden. So werden Plasmen zur Beschichtung und Reinigung von Werkstücken, zum Ätzen von mikroelektronischen Strukturen, zur Textilveredelung, zum Schweissen oder zur Strahlungserzeugung eingesetzt. Diese Palette wird durch das zunehmende Verständnis der Prozesse und neuartige Plasmaquellen ständig weiter vergrößert.