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Plasmaprozesse für funktionelle Polymeroberflächen
Author(s) -
Kröpke St.,
Holländer A.
Publication year - 2001
Publication title -
materialwissenschaft und werkstofftechnik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.285
H-Index - 38
eISSN - 1521-4052
pISSN - 0933-5137
DOI - 10.1002/1521-4052(200110)32:10<781::aid-mawe781>3.0.co;2-9
Subject(s) - x ray photoelectron spectroscopy , materials science , mechanical engineering , nanotechnology , analytical chemistry (journal) , chemistry , physics , engineering , chemical engineering , environmental chemistry
Plasmagestützte Verfahren wurden ursprünglich für die Mikroelektronik entwickelt, haben deren Grenzen jedoch längst überschritten. Heute ist die Plasmatechnologie eine Schlüsseltechnologie mit zahlreichen Anwendungen. Ein hohes technologisches Potenzial ist vor allem im Bereich der Oberflächenmodifizierung zu sehen, da in einem Plasma beliebige organische Bedingungen aufgebrochen und somit Reaktionen eingeleitet werden können, die nasschemisch nicht zu realisieren sind. Zudem lässt die geringe Tiefenwirkung die Volumeneigenschaften des Materials unverändert. Der Artikel zeigt die grundlegenden Eigenschaften nichtthermischer Niederdruckplasmen auf und führt einige Verfahrensbeispiele an, die am Fraunhofer‐Institut für Angewandte Polymerforschung (IAP) entwickelt wurden. Abschließend werden Analysemethoden (XPS, Markierungstechniken) vorgestellt, die für eine zielgerichtete Entwicklung von Plasmaverfahren unumgänglich sind.