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Mechanische und tribologische Eigenschaften von CN x ‐, SiC x ‐ und SiN x ‐Schichten
Author(s) -
Leiste H.,
Stüber M.,
Ulrich S.,
Holleck H.
Publication year - 2000
Publication title -
materialwissenschaft und werkstofftechnik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.285
H-Index - 38
eISSN - 1521-4052
pISSN - 0933-5137
DOI - 10.1002/1521-4052(200008)31:8<743::aid-mawe743>3.0.co;2-c
Subject(s) - physics , nuclear physics