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Herstellung von Hartstoffschichten durch nachträgliche Erwärmung von ionenimplantiertem Titan
Author(s) -
Quast M.,
Mayr P.,
Stock H.R.
Publication year - 2000
Publication title -
materialwissenschaft und werkstofftechnik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.285
H-Index - 38
eISSN - 1521-4052
pISSN - 0933-5137
DOI - 10.1002/1521-4052(200007)31:7<598::aid-mawe598>3.0.co;2-l
Subject(s) - titanium , titanium carbide , carbide , nitride , titanium nitride , chemistry , materials science , crystallite , titanio , metallurgy , nuclear chemistry , composite material , transition metal , layer (electronics) , biochemistry , catalysis
Stickstoff‐ und Kohlenstoffionen wurden bei Substrattemperaturen unter 50°C in Reintitan und TiAl6V4 implantiert. Infolge der niedrigen Temperatur konnte die Bildung der Hartstoffe Titannitrid und ‐carbid verhindert werden. Nach einer anschließenden Wärmebehandlung zeigten Röntgenbeugungsbilder die Interferenzen von Titannitrid und Titancarbid. Unterschiedliche Diffusionskoeffizienten von Stickstoff und Kohlenstoff in α‐ und β‐Titan führen zu unterschiedlichen Kristallitgrößen der Hartstoffphasen. Eine Dehnung des Substratgitters und die Bildung der Hartstoffphasen verursacht einen Härteanstieg und eine verbesserte Verschleißbeständigkeit der Titanwerkstoffe.