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Plasmaunterstützte Abscheidung von BCN‐Schichten
Author(s) -
Thamm T.,
Körner K.U.,
Dietrich D.,
Marx G.
Publication year - 2002
Publication title -
zeitschrift für anorganische und allgemeine chemie
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.354
H-Index - 66
eISSN - 1521-3749
pISSN - 0044-2313
DOI - 10.1002/1521-3749(200209)628:9/10<2232::aid-zaac2232>3.0.co;2-a
Subject(s) - physics , library science , computer science