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Neue Aspekte bei der physikalischen Abscheidung kompakter Dünnschichten aus der Gasphase am Beispiel einer praxisrelevanten Festschmierstoffschicht
Author(s) -
Nordbakke M. W.,
Heutling F.,
Meyer M.,
Knotek O.
Publication year - 2000
Publication title -
materialwissenschaft und werkstofftechnik
Language(s) - German
Resource type - Journals
SCImago Journal Rank - 0.285
H-Index - 38
eISSN - 1521-4052
pISSN - 0933-5137
DOI - 10.1002/(sici)1521-4052(200003)31:3<205::aid-mawe205>3.0.co;2-n
Subject(s) - lubricant , materials science , microstructure , tribology , sputter deposition , sputtering , metallurgy , composite material , nanotechnology , thin film
Am Beispiel MoS 2 ‐basierter Festschmierstoffschichten werden Vorgehensweisen diskutiert, um kolumnare Schichtstrukturen im PVD‐Prozeß zu umgehen. Erst somit wird es möglich, für tribologische Anwendungen Schichten abzuscheiden, die durch eine hohe Lebensdauer gekennzeichnet sind. Als Ergebnis von mikromorphologischen Untersuchungen, röntgenographischen Texturmessungen und oberflächenanalytischen Untersuchungen an gesputterten MoS 2 ‐Schichten konnten Ansatzpunkte für die Entwicklung dicker, kompakter MoS 2 ‐basierter Festschmierstoffschichten gefunden werden. Die erste Wachstumsphase der reinen MoS 2 ‐Schichten ist mit einer dichten, fehlerfreien Schichtmorphologie verbunden. Um die für tribologische Anwendungen positiven Eigenschaften der Schichten aus der ersten Wachstumsphase nutzbar zu machen, wurde mit metallischen Zwischenschichten versucht, das MoS 2 ‐Schichtwachstum wiederholt zu unterbrechen.