Premium
Softlithographie
Author(s) -
Xia Younan,
Whitesides George M.
Publication year - 1998
Publication title -
angewandte chemie
Language(s) - German
Resource type - Journals
eISSN - 1521-3757
pISSN - 0044-8249
DOI - 10.1002/(sici)1521-3757(19980302)110:5<568::aid-ange568>3.0.co;2-x
Subject(s) - polymer science , physics , materials science
Elastomere Stempel und Gußformen bieten die große Chance, die Nachteile der derzeit in der Erzeugung kleiner Strukturen führenden Photolithographie zu eliminieren. Bei den „Softlithographie” genannten Verfahren werden keine aufwendigen Laborausrüstungen und hochenergetischen Strahlungen benötigt. Damit sind diese Techniken einfach, billig und auch für Molekülchemiker leicht zugänglich. Der derzeitige Entwicklungsstand auf diesem zukunftsweisenden Forschungsgebiet wird hier vorgestellt.