Open AccessCARACTERISATION MICRO-ONDE DE LA RESINE EPAISSE SU8 UTILISEE DANS UN PROCEDE "ABOVE-IC"
Author(s) -
Ayad Ghannam,
Christophe Viallon,
David Bourrier,
Thierry Parra
Publication year - 2010
Publication title -
hal (le centre pour la communication scientifique directe)
Language(s) - Spanish
Resource type - Conference proceedings
Subject(s) - physics