Open AccessDéveloppement de capteurs interdigités pour la caractérisation de couches sur substrat
Author(s) -
Julien Deboucq,
Marc Duquennoy,
Mohammadi Ouaftouh,
Frédéric Jenot,
Julien Carlier,
Mohamed Ourak
Publication year - 2010
Publication title -
hal (le centre pour la communication scientifique directe)
Language(s) - French
Resource type - Conference proceedings
Subject(s) - materials science