Open AccessEtude de la stabilité thermique et de l'influence de l'épaisseur sur les contraintes de couches de Cr et CrN obtenues par pulvérisation cathodique,
Author(s) -
Corinne Nouveau,
Yacine Benlatreche,
L. Chekour,
Chafik Labidi
Publication year - 2006
Publication title -
hal (le centre pour la communication scientifique directe)
Language(s) - French
Resource type - Conference proceedings
Subject(s) - physics , humanities , art