Open AccessDéveloppement de microcommutateurs MEMS RF à contact ohmique à faible tension d'actionnement
Author(s) -
Fabienne Pennec,
Patrick Pons,
A. Coustou
Publication year - 2007
Publication title -
hal (le centre pour la communication scientifique directe)
Language(s) - French
Resource type - Conference proceedings
Subject(s) - humanities , physics , art