Open AccessMesure de profondeur dans un microscope électronique à balayage par autofocus.
Author(s) -
Sounkalo Dembélé,
Nadine Piat
Publication year - 2015
Publication title -
hal (le centre pour la communication scientifique directe)
Language(s) - French
Resource type - Conference proceedings
Subject(s) - autofocus , materials science , optics , physics , focus (optics)