Open AccessМодификация поверхности позитивного фоторезиста при ионной имплантации
Author(s) -
Д. И. Бринкевич,
С. Д. Бринкевич,
М. Г. Лукашевич,
В. С. Просолович,
В. Б. Оджаев,
И. Н. Янковский
Publication year - 2015
Publication title -
микроэлектроника
Language(s) - Uncategorized
Resource type - Journals
ISSN - 0544-1269
DOI - 10.7868/s0544126915060022
Subject(s) - computer science
Accelerating Research
Robert Robinson Avenue,
Oxford Science Park, Oxford
OX4 4GP, United Kingdom
Address
John Eccles HouseRobert Robinson Avenue,
Oxford Science Park, Oxford
OX4 4GP, United Kingdom