Modelowanie sił tłumiących występujących w układach perforowanych MEMS | Zendy

Kamil Urbanowicz | Zendy; Jakub Janczewski | Zendy

AI Assistant Blog Pricing

Home ZAIA Blog

Open Access

Modelowanie sił tłumiących występujących w układach perforowanych MEMS

Author(s) -

Kamil Urbanowicz,

Jakub Janczewski

Publication year - 2015

Publication title -

bulletin of the military university of technology

Language(s) - Polish

Resource type - Journals

ISSN - 1234-5865

DOI - 10.5604/12345865.1186356

Subject(s) - materials science , composite material

Streszczenie. na pracę wielu układów mikroelektromechanicznych mems duży wpływ wywierają siły tłumiące wynikające z istnienia pomiędzy płytkami tzw. filmu powietrznego. analityczne metody szacowania tych sił występują jedynie w prostych układach. Przy bardziej złożonych kształtach bardzo pomocne są metody numeryczne, których intensywny rozwój jest szczególnie zauważalny w ostatnich latach. wśród paru znanych na rynku programów umożliwiających analizę układów mems wyróżnić można program comsol multiphysics, który zawiera specjalistyczny moduł mems. w niniejszej pracy zostanie zweryfikowana przydatność powyższego programu w modelowaniu prostych oraz złożonych płytek zawierających perforacje w postaci otworów. celem wykonywania w płytkach otworów jest przeważnie chęć redukcji występujących sił tłumiących. zrealizowany szereg badań analityczno-numerycznych zobrazował liczne niedoskonałości programu comsol, które należałoby poprawić. Słowa kluczowe: mems, siły tłumiące, równanie reynoldsa, perforacje DOI: 10.5604/12345865.1186356

The content you want is available to Zendy users.

Already have an account? Click here to sign in.

Having issues? You can contact us here

Accelerating Research