Effet de l’oxygène sur les radiations optiques émises lors de la pulvérisation de l’aluminium par un faisceau d’ions

La presence de l’oxygene au voisinage d’une surface metallique lors d’un bombardement ionique, provoque une decroissance du rendement total de pulverisation mais elle modifie considerablement les proportions des diverses especes ejectees de cette surface. Dans ce travail, nous nous sommes interesses a l’effet de l’oxygene sur la lumiere emise lors de la pulverisation d’une surface d’aluminium par des ions Kr+ d’energie cinetique de 5 keV. Le spectre de luminescence releve a une pression de 10-7 Torr est compare a celui mesure lorsque la cible est soumise a une atmosphere d’oxygene. L’examen des intensites des raies spectrales montre que toutes les raies Al I manifestent une dependance positive avec la pression en oxygene alors que des raies Al II manifestent une dependance negative. Nous avons aussi enregistre que des raies Al III restent insensibles a la presence de ce gaz. Ces observations sont comparees avec les spectres de luminescences de l’alumine bombardee dans les memes conditions experimentales. Les resultats obtenus sont interpretes dans le cadre du modele de transfert d’electrons entre la surface et la particule ejectee. La validite du modele suggere qu'en presence de l'oxygene, une structure est formee et dont le schema de bandes d'energie est intermediaire entre celui de l'aluminium et celui de l'alumine. Mots-cles : pulverisation, emission optique, aluminium, alumine, modele de transfert d’electrons; analyse de surface, spectroscopie optique.