In2O3 İnce Filmlerin Yapısal, Morfolojik, Optik ve Elektriksel Özelliklerinin İncelenmesi: Gaz Sensörü Uygulamaları | Zendy

T. Asar | Zendy; Burak Enis Korkmaz | Zendy; Halil İbrahim Efkere | Zendy; Nihan Akın Sönmez | Zendy; Süleyman Özçelik | Zendy

AI Assistant Blog Pricing

Home ZAIA Blog

Open Access

In2O3 İnce Filmlerin Yapısal, Morfolojik, Optik ve Elektriksel Özelliklerinin İncelenmesi: Gaz Sensörü Uygulamaları

Author(s) -

T. Asar,

Burak Enis Korkmaz,

Halil İbrahim Efkere,

Nihan Akın Sönmez,

Süleyman Özçelik

Publication year - 2018

Publication title -

journal of polytechnic

Language(s) - Turkish

Resource type - Journals

eISSN - 2147-9429

pISSN - 1302-0900

DOI - 10.2339/politeknik.403971

Subject(s) - physics , microbiology and biotechnology , nuclear chemistry , analytical chemistry (journal) , chemistry , chromatography , biology

Bu calismada, RF magnetron puskurtme yontemi ile 50W ve 100W guc degerlerinde, iki adet In 2 O 3 ince film uretildi. Uretilen ince filmlerin yapisal, morfolojik ve optik ozellikleri belirlendi. In 2 O 3 ince filmlerin sensor fabrikasyonlari tamamlanarak, In 2 O 3 gaz sensorleri elde edildi. Gaz sensorleri; butan gazi konsantrasyonu, uygulama voltaji ve sensor calisma sicakligi degistirilerek test edildi. Test sonuclari incelendiginde, uretilen her iki sensorun de farkli sensor calisma sicakligi ve gaz konsantrasyonlari icin kullanima uygun oldugu goruldu.

The content you want is available to Zendy users.

Already have an account? Click here to sign in.

Having issues? You can contact us here

Accelerating Research