Investigation of Adhesion and Multi-pass Scratch Test Behaviour of Magnetron Sputtered Diamond-Like Carbon Films

Elmas benzeri karbon (DLC) ince filmler sahip olduklari dusuk surtunme katsayisi, yuksek sertlik, yuksek asinma dayanimi ve kimyasal inaktiflik ozelliklerinden dolayi gunumuzde cok yaygin olarak cok cesitli taban malzemeler uzerine kaplanmaktadir. Bu tur kaplamalarda onemli olan bir husus ise kaplamanin taban malzemeye olan adezyonu/yapiskanligidir. Bu calismada DLC filmler inconel taban malzeme uzerine adezyonu artirmak ve daha yuksek dayanim elde etmek icin TiN ve TiCN aratabakalar kullanilarak magnetron sicratma yontemi ile kaplanmistir. Fimlerin yapisal, mekanik, adezyon ve yorulma benzeri davranislari karakterize edildi. Bu calismada filmlerin yapisal ve kimyasal analizleri icin X-ray difraktometre (XRD) ve taramali elektron mikroskopu (SEM) kullanildi. Mekanik ozellikler icin mikro-sertlik, adezyon ve yorulma benzeri ozellikleri icin ise artan yuklu cizik test ve 100, 250 ve 500 cevrimlik coklu-cizik testleri filmlere uygulandi. Filmin mikrosertlik degeri 39.8 GPa olarak tespit edildi. Adezyon testlerine gore DLC filmde kritik yuk degeri 22 N olarak belirlendi ve 25N yuke kadar film taban malzeme uzerinde dayanimini surdurdu. Coklu cizik test sonuclarina gore TiN/TiCN aratabaka ile buyutulen DLC filmlerin 250 cevrim sonuna kadar cok iyi dayanim gosterdigi gozlenmistir.