Nitrogen effect on the surface and optical properties of cubic and hexagonal BN nano layered thin films deposited by RF sputtering method | Zendy

Şuat Pat | Zendy

Open Access

Nitrogen effect on the surface and optical properties of cubic and hexagonal BN nano layered thin films deposited by RF sputtering method

Author(s) -

Şuat Pat

Publication year - 2016

Publication title -

anadolu university journal of science and technology- a - applied sciences and engineering :

Language(s) - Turkish

Resource type - Journals

ISSN - 2146-0205

DOI - 10.18038/btda.52472

Subject(s) - sputtering , materials science , hexagonal crystal system , nano , thin film , nanotechnology , optoelectronics , crystallography , composite material , chemistry

Bu calismada, BN ince filmlerin yuzey ve optiksel ozelliklerine N2 gaz konsantrasyonunun etkisi arastirilmistir. Hegzagonal yapidan kubik BN fazi, depolama esnasinda azot gazi konsantrasyonu degisimi ile uretilmistir. Tum BN ince filmler reaktif radyo frekans manyetik sicratma metodu kullanarak argon/azot (3:7, 1:1 ve 4:1 oranlarinda) gaz karisimlariyla cam alt taslar uzerine uretilmislerdir. Bu iki fazin yuzey ve optiksel ozelliklerinin belirlenmesi icin, dalgaboyu dagilim X-isin spektroskopisi, atomik kuvvet mikroskobu, UV-Vis spektrofotometre, tensiyometre ve interferometre olcum cihazlari kullanilmistir. Sonuclara gore, depolanmis ince filmler homojen, siki yapili, nano yapili ve hidrofobiktir. Mukemmel sitokiyometrik oranlar depolanmis orneklerde elde edilmistir. Hegzagonal BN kristal sistemden kubik faza gecis N2 gaz konsantrasyonunun degisimi ile elde edilmistir

The content you want is available to Zendy users.

Already have an account? Click here to sign in.

Having issues? You can contact us here

Accelerating Research