Plazma Poli(etilen oksit) Filmlerin Dielektrik Kaybının Kalınlığa Bağlılığı | Zendy

Hulusi Ulutaş | Zendy

AI Assistant Blog Pricing

Home ZAIA Blog

Open Access

Plazma Poli(etilen oksit) Filmlerin Dielektrik Kaybının Kalınlığa Bağlılığı

Author(s) -

Hulusi Ulutaş

Publication year - 2018

Publication title -

cumhuriyet science journal

Language(s) - Turkish

Resource type - Journals

eISSN - 2587-246X

pISSN - 2587-2680

DOI - 10.17776/csj.399267

Subject(s) - dielectric , relaxation (psychology) , analytical chemistry (journal) , dielectric loss , thin film , materials science , glass transition , activation energy , plasma , loss factor , deposition (geology) , chemistry , composite material , polymer , nanotechnology , organic chemistry , optoelectronics , social psychology , physics , paleontology , sediment , biology , psychology , quantum mechanics

Plazma poli (etilen oksit) (pPEO) ince film orneklerinin dielektrik ozellikleri oda sicakliginda incelendi. Farkli kalinliklardaki ince film ornekleri, 5 W plazma bosaltma gucunde plazma destekli fiziksel buhar depozisyonu (PAPVD) teknigi ile elde edildi. Film kalinliklari 20, 100, 250, 500 nm’dir. Artan film kalinligi ile dielektrik sabitinin arttigi gozlenmistir. Dielektrik kayip ve frekans iliskisi ile belirlenen relaksasyon zamanlari, artan kalinlik ile daha yuksek frekanslara kaymaktadir. Film kalinligina ilaveten, isitma surecleri bir diger parametre olarak tanimlandi. Bu amacla, ince film ornekleri sirasiyla isitilmis ve sogutulmustur. Sogutma surecindeki dielektrik kaybin maksimum ve minimumunun, isitma surecindeki maksimum ve minimumunun belirlendigi frekanslardan daha alcak frekanslarda meydana geldigi gozlenmistir. Bu sonuclar, daha ince filmlerde olu tabakanin etkisini gosterebilir. Isitma surecinden sonra, dielektrik sabiti ve dielektrik kayip davranisindan, capraz baglanma yogunlugunun isitma etkisiyle arttigi gozlenmistir. Bu etki PAPVD'nin urunu olan serbest radikaller arasinda ek tepkimelere neden olabilir. Ayrica dinamik camsi gecis sicakliklari hesaplandi. Bu sicakliklar olu tabaka yaklasimi etkisini ispatlamaktadir.

The content you want is available to Zendy users.

Already have an account? Click here to sign in.

Having issues? You can contact us here

Accelerating Research