Open AccessАнтиэмиссионное покрытие на основе карбида циркония
Author(s) -
А.А. Лисенков,
Н.З. Ветров,
Д.К. Кострин
Publication year - 2017
Publication title -
pisʹma v žurnal tehničeskoj fiziki
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7471
pISSN - 0320-0116
DOI - 10.21883/pjtf.2017.08.44535.16399
Subject(s) - materials science , geology
Основным требованием при формировании антиэмиссионного интерметаллического соединения Pt 3 Zr является наличие стехиометрического слоя карбида циркония ZrC, получаемого с помощью вакуумно-дугового источника плазмы. Показана возможность получения покрытия ZrC в процессе отжига в вакууме многослоевого покрытия, состоящего из последовательно напыленных из плазмы вакуумно-дугового разряда нанослоев циркония (Zr), карбида циркония переменного состава (ZrC 1-x ) и карбида циркония с избыточным содержанием углеродной фазы (ZrC + C). DOI: 10.21883/PJTF.2017.08.44535.16399