Open AccessНачальные стадии роста пленок титаната бария-стронция на подложке полуизолирующего карбида кремния
Author(s) -
А.В. Тумаркин,
И.Т. Серенков,
В.И. Сахаров,
С.В. Разумов,
А.А. Одинец,
М.В. Злыгостов,
Е.Н. Сапего,
В.В. Афросимов
Publication year - 2017
Publication title -
fizika tverdogo tela
Language(s) - Russian
Resource type - Journals
eISSN - 1726-7498
pISSN - 0367-3294
DOI - 10.21883/ftt.2017.12.45230.157
Subject(s) - biology
Впервые исследованы начальные стадии роста сегнетоэлектрических пленок титаната бария-стронция на подложках монокристаллического карбида кремния. Выбор подложки, обладающей высокой теплопроводностью, обусловлен возможностью применения данных структур в мощных сверхвысокочастотных устройствах. Определены диапазоны температур, разделяющие механизм поверхностной диффузии осаждаемых атомов от диффузии через газовую фазу при росте многокомпонентных пленок. Исследования показали, что массоперенос посредством поверхностной диффузии приводит к формированию зародышей малой высоты, покрывающих большую часть подложки, тогда как массоперенос атомов через газовую фазу приводит к образованию "столбчатой" островковой структуры с малым процентом покрытия подложки и большей высотой островков. А.В. Тумаркин и А.А. Одинец выражают благодарность за финансовую поддержку РФФИ (проект 16-29-05147 офи\_м) и Минобрнауки России (государственное задание N 3.3990.2017.ПЧ). DOI: 10.21883/FTT.2017.12.45230.157