Untersuchung zur Schichtfolge eines Multilayerschichtsystems NiZn Ferrit / Si bzw. SiO 2 für Höchstfrequenzleiterplatten im Frequenzbereich größer 1000 MHz

Es ist gelungen mittels des Sputterverfahrens ferritische Multilayerschichten auf HF‐Leiterplattenmaterial der Firmen Rogers (USA) und Mauritz ( Germany) abzuscheiden. Es wurde eine fast linear anwachsende Reflexionsdämpfung von 0,6 dB ab 1000 MHz bis 77000 MHz gemessen. Die theoretische Betrachtung mit einem numerischen Simulator 2DTLM zum Schichtfolgeaufbau konnte im Experiment in der Striplineanordnung bis 3800 MHZ diskutiert werden. Theoretische Simulationsergebnisse weisen auf gute Dämpfungsergebnisse bei einem Schichtaufbau mit Anordnung einer Ferritschicht am Metallabschluß hin.