Gezielte Spaltung von durch direktes Laserschreiben hergestellten Mikrostrukturen

Abstract Basierend auf einem neuartigen Photolack wurden 3D‐Mikrostrukturen durch direktes Laserschreiben (DLW) hergestellt, die gezielt und vollständig spaltbar sind. Die Netzwerke bestehen ausschließlich aus reversiblen Bindungen, die unter Bestrahlung eines Phenacylsulfid‐Vernetzers entstehen. In einer radikalfreien Stufenwachstumsreaktion zwischen den sich bildenden reaktiven Thioaldehyden und einer Thiol‐Komponente bilden sich Disulfidbrücken. Die Reaktion wurde in Lösung durch ESI‐MS nachgewiesen. Induziert wird die Spaltung durch einen Thiol‐Disulfidbrücken‐Austausch mit Dithiothreitol, der die geschriebenen Strukturen “löscht”. Die milde Spaltung des Disulfidbrücken‐Netzwerkes ist z. B. orthogonal zu Acrylat‐basierten DLW‐Strukturen. Um diesen Aspekt hervorzuheben, wurden DLW‐Strukturen hergestellt, die reversible Strukturelemente in nicht‐reversible Acrylat‐basierte Standardgerüste integrieren. Im Anschluss wurde die selektive Spaltung gezeigt. Die Erreichbarkeit hoher lateraler Auflösung wurde durch Anfertigen definierter Liniengitter mit Linienabständen bis 300 nm nachgewiesen.