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現在 使用 されて いる表面 粗さ測定器には, 触 針式, 容量式, 光 切断式, 光干渉式 などがあ る1),2). この 内 最 も広 く用 い られ てきたのが触針式であ る. 最近新 し く開発 された ほとんどの表面粗 さ測定 器 も, システム 化が進 め られ て は い る もの の, 触針式を踏襲 して い る. 触針式 では, 触針 の先端 曲率半径 を 小 さ くす る と, 被 測定 面を きずつ けた り, 触針が破損す るな どの 問題が生 じ, 触針先端半径 は2μmよ り小 さ くで きな い. こ の こ とか ら, 12級(注1)以 上の表面 粗さを 正確 には測定 で きないとい う欠点 は残 されたき まで ある. この欠点を 免れ るには, 非接触の光学的計測法が適 して お り, レ ー ザ ・ビー ムを触針 として使用 する方 法3)やス ペックル法などが提案さ れ て い る4). ただ, これ らはきだ実用段 階には至っていない. 一方, 12~ 14級(注1)の 表面粗 さの 測定には光波干渉測定器が 用 い られ てい るが, 干渉縞 の読取 りは測定者が行 い, 結

Measurement of Surface Roughness by Using Image Processing of Interference Pattern