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FBARs (engl. Film Bulk Acoustic Resonator) konnen durch eine entsprechende Oberflachenfunktionalisierung sensitiv fur bestimmte Molekule gemacht werden. Die Molekule lagern sich an der Oberflache an und bewirken somit eine Resonanzveranderung, welche als gasempfindliche Grose gemessen werden kann. Fur die vorliegende Arbeit haben wir FBARs mit Aminopolysiloxanen beschichtet, um sie fur die spezifische Detektion von CO2-Gas in der Atmosphare nutzbar zu machen. Fur gunstige und kleine CO2-Sensoren gibt es einen grosen Mark, aber ein bestehendes Problem sind Querempfindlichkeiten, insbesondere zu sich andernder Luftfeuchtigkeit. Wir zeigen, wie man die Eigenschaften von akustischen Bauteilen nutzt, um solche Querempfindlichkeiten zu eliminieren. Das Prinzip auf dessen Basis diese Unterscheidung von Gasen beruht, ist die individuelle Anderung der elastischen Eigenschaften eines Materials, wenn es mit bestimmten Gasen in Kontakt kommt. Solche Anderungen konnen zum Beispiel durch chemische Vernetzung oder physikalische Behinderung von Bewegungen hervorgerufen werden. Wir zeigen an einem Beispiel, wie unter Anwendung verschiedener Polymere der Einfluss der Luftfeuchtigkeit von dem CO2-Signal getrennt werden kann. Eine zukunftige Herausforderung fur die Entwicklung solcher CO2-Sensoren wird die Stabilitat der funktionellen Materialien und deren lokale Abscheidung in verschiedenen Dicken sein.

4.3.4 - FBARs (Film Bulk Acoustic Resonators) als CO2-Sensoren mit der Möglichkeit zur akustischen Eliminierung von Querempfindlichkeiten