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Zusammenfassung Der aktuelle Status des virtuelles Rasterelektronenmikroskop vREM, ein Programm entwickelt in Zusammenarbeit des Instituts fur Produktionsmesstechnik (IPROM) der technischen Universitat Braunschweig mit der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) wird vorgestellt. Das Programm hat zum Ziel, den gesamten Messvorgang eines Rasterelektronenmikroskops zu simulieren, und die auftretenden Messunsicherheiten zu bestimmen.

5.3.3 Untersuchungen zur Abschätzung von Messunsicherheiten mit dem virtuellen Rasterelektronenmikroskop vREM