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ので あ ったが,商 品化 まで には至 らなか つた。 わが 国 にお いて は, 1970年 代 に特 許 を取 得 した企 業 が,ナ イ ロ ン基 板 へ の 商 品 化 を 試 みたが,性 能 お よび コス トの両面 か ら商 業生 産 され るまで に は 至 らなか った。 その後1980年 代 に入 って電 子 レ ン ジが普 及 し, その適用 が可 能 なAl箔 を使 用 しない包 装 材 と して の,セ ラ ミッ クス蒸着 フ ィル ム の開発 が再 燃 した。 その結 果,抵 抗加 熱 真空 蒸 着 に よ るSiOx(x=1.5~1.7)膜 コー トPETフ ィル ム が,レ ト ル ト食 品 用包 装 材 と して商 品化 され,1988年 よ り生 産 が 開 始 さ れ た。初 期 のSiOX膜 は黄 褐色 が微 量 に残 る こ と と,原 材料 価 格 が 高 い こ とか ら,そ の 後 の開 発 は よ り安 価 なAlで 形 成 可 能 な A1203膜 へ と移 行 し商 品 化 され た。現 在 で はSiOx膜 よ り もAl, 0,膜 の適 用 が 多 くな って きて お り,さ らにSio2-Al、03混 合 膜 も開発 され て い る。 また最 近 で は,ダ イヤ モ ン ド状 炭 素(DLC: diamondlikecarbon)も ガ スバ リアー膜 として の 応 用 が 検 討 さ れ,一 部 実 用化 してい る。形 成手 法 と して は ドラ イプ ロセ ス,す な わ ちPvD(SiO。,Al203,SiO2-Al203膜 に 適 用)お よ び プ ラ ズ マCVD(Sio、,DLC膜 に適 用)が 用 い られ て い る。 ま た,現 在 の と ころ汎 用化 して い る基板 はPETの み で あ るが ヴOPP(延 伸 ポ リプ ロ ピ レン)やON(延 伸 ナ イ ロ ン)へ の展 開 を 目指 して研 究 開発 が続 行 され て い る。 以前,著 者 は本 誌 にお いて電 子 ビーム加 熱 蒸 着 に よ るSiO。 膜 の形成 法 とそ の特性 に つい て紹 介 した1)。本 稿 で は,そ の後 の 開 発 結果 としてのAl、0、 膜 お よびDLC膜 の形 成法 とそのバ リアー 特 性 を中心 に述べ,さ らに最近 注 目され てい る,電 子材 料 へ の応 用 を指 向 した超 バ リアー膜 の 開発状 況 に つい て言及 す る。

Preparation and Properties of Transparent Gas Barrier Coatings