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テレビ,パ ソコンなどあらゆる電気製品に半導 体が使用されてきており,半 導体はわが国の重要 な産業 として急速に発展 している。現在に至って は,半 導体を用いた製品は生活を支える上で欠か す ことので きないものとして,よ り一層の利便性 を追求 した開発が進められている。 こうした半導 体を中心とした電子 ・電気産業が生活を確実に豊 かにしていることは間違いないが,そ の一方で産 業自身が高度な先端分野であることから化学物質 の使用状況の把握が困難であり,製 造プロセスで 排出される物質の環境 リスクがどの程度か,発 生 する廃棄物の処理 ・処分は確実に実施できるのか, などの環境問題への可能性が指摘されるようになっ てきた。また,使 用の対象となる化学物質にっい て も開発のテンポがあまりにも急なため,生 態系 への影響に関する知見,情 報が極めて少ない状況 である。 半導体デバイスは多数の工程を通って製造され るが,大 きく分けてウエハーの製造工程とウエハー の加工処理工程に分けることができる0こ のうち, 半導体の高集積化に係わるのは後者のウエハー加 工処理工程であり,当 該工程はさらに膜形成プロ セスとエッチングプロセスに分けられる。膜形成 プロセスにはヒ素,ケ イ素,リ ン,ホ ウ素などの 誘導体に加え毒性の強い有機金属化合物が,ま た エッチングプロセスには塩素,フ ッ素など腐食性 の高いハロゲ ン系ガスがそれぞれ真空条件下で使 用されている。以上のように半導体製造プロセス においては環境 に対 しリスクの高い化学物質が使 用されることが多 く,環 境へ排出されるものが無 害化処理 されない場合や化学物質の適正な取り扱 いが行われない場合 は,直 ちに人の健康を害する 恐れがあることを十分に理解 しておかなければな らない。 こうした経緯を踏まえ,こ こでは半導体製造装 置にっいて,メ ンテナンスなどの保守管理業務の 安全確保や発生する廃棄物の処理処分の流れなど について触れていくこととする0

Application of Gases to Surface Finishing Technologies. Maintenance and Treatment of Contaminated Equipment by Hazardous Gases.