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通 常 伝 導 電 子 が 多 く(約1×10'9cm-3以 上),金 属 的 な振 舞 いを し,透 明 で は な くな る。 この一 見 矛 盾 す る よ う な2つ の条 件 を同 時 に満 足す る材 料 が, 透 明 導 電 膜 に用 い られ て い る。 この材料 と して は, 初 期 に は,ネ サ 膜 と よ ばれ たSnO、 膜 を,最 近 で はSnを ドー プ したIn203(ITO,indiumtinoxide) 膜を中心 として開発が進め られている。 透明導電膜は,現 在,液 晶ディスプレイ(LCD), 太陽電池をはじめ,多 くの分野で用いられている。 私達の身の回りの製品に,そ れこそ目には見えな いが多 く使われている。この使用量は,急 速に増 大 しており,ま た求められる性能はより高度になっ ている。特 に,ワ ープロ,パ ソコンなどのOA機 器用ディスプレイでは,従 来のCRTか らLCDへ と転換が急速に進んでいる。さらにフルカラーの パソコン用LCDも 商品化 された。 このことはこ の転換をより早 く進 めるであろう。 またカラー LCDを はじめLCD開 発では,今 後高画質化,大 画面化がさらに進展するであろ う。 このため, LCD用 の透明導電膜 の需要 はますます増大 し, また透明導電膜に対する性能要求 も一層高まって いく。 本稿では,近 年発展がめざましいこの透明導電 膜にっき,応 用,種 類,性 質,作 製法,今 後の課 題などを述べる。

Special Issues/Transparent Conducting Films for LCD Use. Introduction to Transparent Conducting Films.