English (United Kingdom)

https://curated-unify.zendy.io/wp-json/zendy-region/v1/featured_content/oa?rat=en

https://curated-unify.zendy.io/wp-json/zendy-region/v1/highlighted_journal/

Global: Zendy Plus annual

Presents the access of premium content as premium feature

Premium Content

Presents the keyphrase highlighting as premium feature

Keyphrase Highlighting

Presents the summarisation as premium feature

Summarisation

Insights

Presents the pdf analysis as premium feature

PDF Analysis

Presents the zaia usage as premium feature

ZAIA

Global: Zendy Tools annual

Global: Zendy Free Plan

Global: Zendy Tools monthly

Global: Zendy Plus monthly

Mikro-elektro-mekanik (MEMS) rezonatorler uzun zamandir sensor tasarimi icin kullanilmaktadir ve artik gunumuzde guc elektronigi alaninda osilatorler olarak giderek onem kazanmaktadir. Bu calismada, bir mikro mekanik filtrenin parcasi olarak tasarlanan bir yuzey mikro islenmis MEMS rezonatoru ayrintili olarak analiz edilmistir. Gelistirilen model, uygulanan 100 V DC gerilim ile rezonatorun analizini gerceklestirir. Mikro rezonator icerisinden gecen akim, termal genlesme ile isi enerjisini dagitmaktadir. Bu genlesme, rezonator icerisinden gecen akim ve yayilan sicakliga bagli olarak degismektedir. COMSOL yazilimi kullanilarak 400 μm uzunlugunda ve 50 μm kalinliginda dikdortgen bir kiris olarak tasarlanan rezonator icin polikristalin silikon, demir, aluminyum, gumus ve altin malzeme atamasi yapilarak gerekli analizler yapilmistir. Giris potansiyeli rezonatorun hava boslugu merkezinden uygulanarak y ekseninde meydana gelen deformasyonlar olculmustur. En yuksek deformasyon 0.062 µm ile aluminyum malzemede ortaya cikarken; en dusuk deformasyon 0.029 µm ile polikristalin silikon malzemede olculmustur. Demir, gumus ve altin malzemelerinde ise sirasiyla 0.030 µm, 0.052 µm ve 0.059 µm deformasyon verileri olculmustur. Sonuc olarak, mikro rezonator tasariminda kullanilan aluminyumun diger metalik rezonatorler ile kiyaslandigi zaman onerilen geometri icin onemli miktarda deformasyon verdigi gozlemlenmistir.

MEMS Tabanlı Mikro Rezonatörün Tasarımı ve Analizi