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Die Mikrozerspanung  ist ein spanabhebendes Verfahren für ultrapräzise Bearbeitung von Bauteilen mit monokristallinen Diamantwerkzeugen in optischer Qualität. Die Mikrozerspanung von Stählen ist aufgrund des dabei auftretenden starken, chemisch-reaktiven Verschleißes an den Diamantwerkzeugen bisher nicht wirtschaftlich. Ein Weg zur Problemlösung ist die Modifikation der zu bearbeitenden Randschicht von Stählen durch das Nitrieren bzw. Nitrocarburieren. Die entstandene Verbindungsschicht lässt sich mit dem Diamantwerkzeug verschleißarm bearbeiten. Für die Mikrozerspanung sollte allerdings die Verbindungsschicht im Hinblick auf die Zerspanbarkeit weiterentwickelt werden. Insbesondere wird eine dicke porenarme Verbindungsschicht angestrebt.

Gasnitrocarburieren von Stählen zur Erzeugung dicker und porenarmer Verbindungsschichten für die Mikrozerspanung mit Diamantwerkzeugen