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Neben der Analyse komplexer Geometrien können auch lokale Phänomene, bei denen eine 2-D-Analyse versagt, mit Hilfe der FIB/REM-Gefügetomografie aufgeklärt werden. Am Beispiel von silberbasierten Kontaktwerkstoffen wird der Einfluss einer elektrischen Entladung auf die Größe, Form und Verteilung der Oxidpartikel und Poren im Material gezeigt und mit der effektiven elektrischen Leitfähigkeit korreliert.

Gefügetomografie mit Ionen- und Elektronenstrahlen: ein Werkzeug zur Aufklärung komplexer Gefügebildung und lokaler Gefügedegradation ∗