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2. 方 法 と 装 置 2.1 原 理 方法の原理は第1図 に示す通 りであ る。電子源 となる 陰極 には普通 タングステンの線が用い られ、 これが電流 によって加熱され る。陽極 は試料その ものが用い られ る こ とが多 く、陰極か ら放射 された熱電子は、陰極 と陽極 との間 の直流高電圧 によって加速 され、集束用の板 に よ って集束 され て陽極 に衝突す る。全体 が高真空の容 器中 に入れ られ、試料又は陰極系 を上下 方向に移動させ る こ とに よ り、溶融帯が移動 しゾーン精 製が行なわれ る。 この よ うな電極系の電気的特性は簡単な2極 管のそれ に相当す る。すなわ ち電極の間隔に対 して電 圧が十分大 きければ、陰極か ら発生す る熱電子はすべて電子電 流 と して陽極へ動 き、いわゆ る飽和熱電子電流10が え られ る。I0の 値 は よく知 られ て い る よ うに RichardsonDushmaaの 式に より以下 のように定 められ る。

Floating Zone Refining by Electron Beam Melting