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粒子励起X線(PIXE)分 析法1,2)は,高 速のイオ ンを 試料 に照射 し,発 生 す る特性X線 の種 類 と強 度か ら, 元素分 析を行 う方法 であ る.電 子衝 撃に よるX線 分析 に比べ,制 動放射線 によるバ ックグラウン ドが極めて低 くなるため,ppm以 下 の感度 で多元素 同時分析 が可能 であ る.ま た,試 料は ほぼそ のま まの状態 で も分析 で き,薄 膜窓 などを用いてイオ ンビームを大気中に取 り出 す ことに より,液 体試料な ど真空 中に保持 できない試 料 も分 析可能にな る.こ れ らの特徴か ら,PIXE分 析法 は 生体試料か ら無機材料,高 価 な美術品に至 るまで,幅 広 い分野 の試料の分析に応用 され てい る. 一 方 ,Si(Li)半 導 体検 出器 を用 い たPIXE分 析 法 の 開発 とほぼ同 じ1970年 台前半か ら始 まったイオ ンマイ ク ロビーム技術3)の開発 に よ り,数 ミクロン以下の ビーム

Micro PIXE (Particle Induced X-ray Emission) Analysis Using Heavy Ions and its Applications