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高機能薄膜形成や無欠陥エ ッチ ング等 を 目指 した活性 ガ ス (N2・O2な ど) の低 エネルギ ーイ オン照 射を 目的 と して,13.56MHzの RF 電 力に よ る誘 導結合 型放 電 とガス導入に マルチキ ャピラ リーを組 み合わ せた "RF 型マルチキャピラ リーイオ ン源" の開発を行 って きてい る1). このイオン源の特徴 であるマルチキ ャピラ リーに よる 分子線集束効果を検討す るため,活 性 ガスに酸素を用い て励起種 の生成,及 びその照射特性の評価 を行 った. 投 入電力や照射距離を変化 させた種 々の条件 で,プ ラズマ の状態 については プラズマ発光分析,及 びイオンエネル ギー分析を行い,ま た励起種照射特性につ いてはイオ ン 電流密度 ・酸素励 起種 のフラ ックス量の測定を行 った. それ らをもとに して,酸 素励起線源 としての有効性を検 討 した結果を報告 する.

The Product of the Oxygen Exited Beam by RF Type Multi-Capillary Ion Source.