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試験容器 を作製 した.内 表面 の処理については,試 験前 に アセ トン漕へ浸漬 して脱脂洗浄を行 っただけ で,特 に 酸洗に よる酸化層の除去な どは行 つていない. 無酸素銅引抜材 内表面のSEM像 をFig.1に 示す.引 抜加工に用いたプラグに よると思われ る傷が引抜方 向に 沿 ってみ られる.次 にオージェ電子分光に よる表面分析 結 果をFig.2に 示す.銅 以外 に炭 素及 び酸素 が認め ら れる.こ れ らの不純物 は,引 抜加工 に用 いた加工油の残 留や表面 の酸化を示す ものと考え られ る. また比較用 として,SUS316L圧 延板 を溶接 して無酸 素銅容器 と同サイズのパイプとし,コ ンフラッ トフラン ジに直接溶接 した容器 も製作 した.内 表面 については, 表面処理 として一般的な電解研磨を行い,試 験前に アセ トンに よる脱脂洗浄を施 した.ス テン レス容器 は2本 作 製 し,一 方はそ のまま排気試験 に供 し,も う一方 は二重 真空排気炉4)において500°C ×100hで プ リベ ー クしてか ら試験に供 した. 2.2 試験装置及び手順 排気試験装置 の構成 については報告 を参照 されたい. 主排気には排気速度4001/minの ターボ分子 ポ ンプ,粗 排気及び補助排気 には排気速度2701/minの ス クロール ポンプを用 いた.全 圧測定 には コール ドカ ソー ドゲージ 及びBAゲ ージを用い,ま た四重極質量分析計に よ り排 * 平成5年10月28日 第34回 真空に関す る連合講演会で発表 ** 日立電線(株)システムマテ リアル研究所 (〒300茨 城 県土浦市木 田 余町3550) *** 高 エネルギー物理学研究所 (〒305茨 城 県つ くば市大穂1-1) **** 東京電機大学工学部 (〒101東 京都千代田区神田錦町2-2)

Baking Effect on Initial Pumping Characteristics of Oxygen Free Copper Duct.