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あ る.し か しこれ らは小さい面積に成膜するには適 した 方法であるが,現 状では大 きな面積に均一 に成膜す るの は困難 である.こ れに対 し,rfマ グネ トロンスパ ッタ法 は大面積 で均一に成膜 するこ とが可能であ る.し か し再 現性良 く成膜す るためには,基 板温度,入 力電 力,ス パ ッタ圧 な どのスパ ッタ条件 を最適化す る必要がある. 特 にYBCO薄 膜は酸素分圧 に敏 感で,超 電導特 性の良い 膜を得るには成膜中の酸素分圧(外 部 よ り導入 した酸素 とターゲッ トか らでて くる酸素 の和)を 最適化 しなけれ ば な らない.そ こで成膜中に おけ るrfプ ラズマの発光 を分光分析す ることに よ り,各 金属元素のイオ ンとラジ カル,Arイ オ ン,酸 素 ラジカル の発光 強度の変化か ら プラズマの状態を観測 し,成 膜条件が膜の特性に与 える 影響を調べた.そ の結果,酸 素 ラジカルの発光 強度か ら 導入す る酸素 ガス量 を制 御す るこ とに よ り,80K以 上 の臨 界温 度を もつYBCO薄 膜 を再 現性良 く作製 できる ことがわか ったので報告す る.

Fabrication of superconducting YBa2Cu3Ox Thin Film with Plasma Monitoring.