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電子 ビー ム加熱蒸発 では高融点金属 の原子 ビームが容 易に得 られる,と 同時 に蒸発部近傍で電子 ビームに よる 原子 のイオン化 のためプラズマが発生 する.Graper1)は このプ ラズマは ドリフ トに よ り,蒸 発部か ら数10cm離 れた ところに も存在す ることを指摘 している.原 子 ビー ムのみを用いて原子衝突実験や原子法 レーザー同位体分 離 を行 うためには,衝 突部や分離部への プラズマ流入を 抑 えなければな らない.一 方,逆 にCVDや イオ ンプ レ ーテ ィングでは プラズマが重要な役割を している.ど ち らの場合で も蒸発部近傍 で生成 した プラズマの特性を知 る ことが重要 である.こ のため著者 ら2)は電子 ビーム加 熱蒸発部近傍で生成 したガ ドリニウムプラズマの電子温 度 および原子 ビーム中に含 まれ るイオ ン量を測定 した. その結果,電 子温度は0.08eVで 蒸発面温度2400Kに 比 べ非常 に低 いこと,原 子 ビーム中のイ オンの割合は1% を越 えることを明 らかに した.し か し,プ ラズマの ドリ フ ト速度 は未計測 であ った.一 方,西 尾 ら3)は電子 ビー ム加熱 で生成 した ウランプラズマの電離度測定か ら,プ ラズマ内のイオ ンは プラズマの空間電位差で加速 され, その結果 プラズマの ドリフ ト速度は原子 ビーム速度 よ り 速 くなっている と推定 している.し か し,実 際 にプラズ マ ドリフ ト速度は測定 していない. ここでは蒸発部近傍 で生成 した ガ ドリニウムプラズマ の ドリフ ト速度を ラングミュアプローブを用 いて以下に 述 べる方法 で測定する ことを試みた.

Drift Velocity of Gadolinium Plasma Generated in the Vicinity of Electron Beam Evaporation Source.