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販 され てはい るが,こ れ らをOA機 器用 光源等 に大量 に採用す るには,現 時点では困難であ る.そ こで,小 型 ・軽量 で安価 な ,し か も低電圧駆動型で使い易い短波長 発光LEDに 取 り替えた い,あ るいは積極的に使用 して みたい とい う要望 である. 広 い禁制体幅 を持つ半導体材料の中で も,炭 化けい素 (SiC)は 間接遷移 形 では あるが,p,n形 の導電形 が 容 易に制 御 で きる とい う特長 があ り,特 に6H形 単 結 晶 (禁制体 幅3eV)を 用い て青 色LEDの 研究開 発が進 め られ て きた1,2).我 々 は,こ の6H形SiC単 結 晶 の育 成3,4)並び に青 色LEDの 開発5~8)と同 時に,4H形 単結 晶(同3.2eV)を 育成 し,こ れを用 いて より短波長発光 の青 紫色LEDの 開発 も並 行 して行 ってい る9).4H 形 SiCに 窒素(N),ア ル ミニウム(Al),ガ リウム( Ga ) あ るいは ホウ素(B)を ドーピングした ときの各不純物 レベ ル及 び フ ォ トル ミネ ッセ ンス(PL)に 関 して は,

Fabrication techniques and electro-optical properties of 4H-SiC bluish-purple LEDs.