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法 は困難 とな る.ま た,エ ピタキシャル成長の基礎過程 と して興味の持たれ る半導体上 での表面拡散現象への応 用 も電界の結晶内への浸透 の問題等 があ り困難であ る. 我 々は,電 界放射電流雑 音の相関解析法の応用範囲 を 拡 げるため,電 界放射電子 をパルス計数 し,計 数 相関法 による解析 を試みてい る.実 際に,タ ングステ ン上 に物 理吸着 したキセ ノン分子の表面拡散 現象の研究にこの計 数相関法 を応用す ることに より,従 来 のアナ ログ相関法 に較 べ10-4以 下の電界放射強 度で相関関数測定が可能 と なっている2). 本論文 の 目的は,我 々の計数 相関法 の感度及び精度を 定量 的に解 明す ることであ る.具 体 的には,既 知の電圧 波形 で陽極印加電圧 を変調 して測定 された相関関数 を, 理論的 に求 め られ た変調 波形の 自己相関関数 と比較 し た.ま た,電 子計算機 のボア ソン分布乱数 を用 いて計数 相関法のシ ミュ レーシ ョンを行い,測 定時間中の吸着分 子被覆率の微小な変化 によって生ず る平均計数値の ゆっ く りとした変動 が相関関数測定 に及 ぼす影響 を調べた.

Autocorrelation analysis of counting fluctuations in field electron emission.