English (United Kingdom)

https://curated-unify.zendy.io/wp-json/zendy-region/v1/featured_content/oa?rat=en

https://curated-unify.zendy.io/wp-json/zendy-region/v1/highlighted_journal/

Global: Zendy Plus annual

Presents the access of premium content as premium feature

Premium Content

Presents the keyphrase highlighting as premium feature

Keyphrase Highlighting

Presents the summarisation as premium feature

Summarisation

Insights

Presents the pdf analysis as premium feature

PDF Analysis

Presents the zaia usage as premium feature

ZAIA

Global: Zendy Tools annual

Global: Zendy Free Plan

Global: Zendy Tools monthly

Global: Zendy Plus monthly

Методами оптической профилометрии и сканирующей электронной микроскопии исследовано воздействие излучения наносекундного ультрафиолетового лазера (λ - 355 нм, длительность импульса 10 нс, энергия в импульсе - до 8 мДж, частота следования импульсов до 100 Гц) на монокристалл кремния. При плотности энергии ≥ 1,2 Дж/см наблюдалось образование плазменного факела и кратера. При плотности энергии ≥ 0,2 Дж/см, возникают очаги микропробоя на дефектах обработки и зафиксированы следы неконтролируемого поднятия поверхности. Облучение сканирующим пучком лазера при плотности энергии 0, 2 Дж/см образует микрократеры на поверхности размером несколько мкм. С увеличением плотности энергии размер микропробоев увеличивался, и при плотности энергии ≥ 0,7 Дж/смвоздействие сканирующим лучом образует сплошную зону повреждений. The effect of radiation of a nanosecond ultraviolet laser (λ = 355 nm, pulse duration 10 ns, pulse energy up to 8 mJ, pulse repetition rate - up to 100 Hz) on a silicon single crystal has been investigated by methods of the optical profilometry and scanning electron microscopy. At an energy density of ≥ 1,2 J/cm, formation of the plasma torch and crater was observed. At an energy density of ≥ 0,2 J/cm, pockets of microbreakdown appeared on processing defects, and traces of uncontrolled surface uplift were recorded. Irradiation with a scanning laser beam at an energy density of 0,2 J/cm forms microcraters on a surface with a size of several microns. With an increase in the energy density, the size of the microbreakdowns increased, and at an energy density ≥ 0,7 J/cm, the impact of the scanning beam forms a continuous damage zone.

MODIFICATION OF SILICON SURFACE UNDER INFLUENCE OF RADIATION OF A NANOSECOND ULTRAVIOLET LASER