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Este trabajo se enfoco en el estudio de la influencia del contenido de nitrogeno sobre la microestructura, composicion quimica, propiedades mecanicas y tribologicas de los recubrimientos de TaN depositados sobre acero inoxidable 420 y silicio (100) mediante la pulverizacion catodica. Los recubrimientos se depositaron en una atmosfera de argon/ nitrogeno variando el flujo de nitrogeno entre 12% y 25%, y fueron caracterizados por SEM, EDX, DRX, AFM, Microraman, Microindentacion y usando un tribometro tipo bola sobre disco. Se aprecio una refinacion de la estructura columnar de los recubrimientos acompanado de una disminucion de su espesor con el incremento del contenido de nitrogeno en estos. Inicialmente se observo un crecimiento preferencial de la fase cubica fcc del TaN (111), la cual cambio a la estructura fcc TaN (200) por encima del 12% de N 2 . A contenidos mayores al 18% de N 2 se forman otras fases ricas en nitrogeno y el sistema tiende a la amorficidad, muy particularmente para un 25% de N 2 . El recubrimiento TaN-1, depositado con 12% N 2  en la mezcla de gases, presento la mayor dureza de 21.3 GPa, el menor coeficiente de friccion y tasa de desgaste de 0,02 y  1,82x10 -7 (mm 3 /Nm), respectivamente. A partir de los resultados obtenidos se observo una importante relacion entre la microestructura, las propiedades mecanicas y tribologicas de las muestras recubiertas y su contenido de nitrogeno.

DEPOSICIÓN Y CARACTERIZACIÓN DE LAS PROPIEDADES DE RECUBRIMIENTOS DE TaN DEPOSITADOS CON DIFERENTES CONTENIDOS DE NITRÓGENO